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고객과 함께 성장해 가는 기업

T&S ENGINEERING

Part Cleaning

티앤에스엔지니어링은 반도체 제조현장에서 필요로 하는 전문적인 기술업무 뿐만 아니라 모든 업무를 빈틈 없이 수행할 수 있습니다.

고정밀 산업분야에서의 업무 노하우와 경험으로 고객사의 생산자산이 최고의 성능을 발휘할 수 있도록 책임지겠습니다.

Part Cleaning
Part 세정
 

초청정실의 규격에 준한 세정작업으로 숙련자의 노하우와 세정 기술력을 필요로 하는 작업이며, 작업자의 Safety와 Part Broken 예방을 통한 원가 절감을 만족시킨다.

Diffusion Part Cleaning
DIFFUSION 공정
 

Pumping 배관, Sus Manifolder, Exhaust Line, Air V/V, Teflon 배관, 로구 Shutter, 각종 Cover, 기타 소모성 부품 세정

Implant Part Cleaning
IMPLANT 공정
 

SUS Part, Source Head, Source Housing, Manipulator, Beam Line Housing, Beam Line Ass’y, Bushing, 기타 소모성 부품 세정

CMP Part Cleaning
CMP 공정
 

AMAT 2.0 & EVO Type Head,Ebara S2 & X Type Head, Slurry 공급장치 Filter Cap, 공급장치 Tube, Ebara Turn Table Cover, 기타 소모성 부품 세정

Thinfilm Part Cleaning
THINFILM(박막) 공정
 

Ceramic Part, SUS Part, Heater, Trottle V/V, Gate V/V, ESC, 기타 소모성 부품 세정

Dry & Wet Part Cleaning
Cleaning 공정
 

Single & Batch장비 Inner Cover, Batch장비 Water Cover, Batch 장비 Bath cover, DRY장비 Shower Head, Dry장비 GDP, Dry장비 Edge Ring, 기타 소모성 부품 세정